Others 활성이온 측정 방법
2017.11.07 15:04
안녕하세요
배가스 제거 기술 개발을 하고 있는 직장인 이성수라고 합니다.
플라즈마 관련 문의 사항이 있어서 연락을 드립니다.
오존을 이용하여 gas를 분해하는 기술에 대해서 알아보고 있는데요
오존이 아닌 플라즈마 이온이 gas를 분해하는데 더 강한 산화제로 작용울 할수 있는것 같습니다.
그래서 오존발생기(플라즈마방식)에서 오존 외에 활성이온량을 측정할수 있는 방법을 찾고 있습니다.
활성이온량을 측정할수 있는 방법이 있는지요?
그리고 플라즈마 밀도를 측정하기 위해서 EOS 를 사용하는 것으로 알고 있는데요
플라즈마 밀도와 활성이온량의 의미는 같은것인지요?
현재 활성이온 측정 방법을 알수 없어서 개선방법을 못찾고 있습니다.
교수님의 고견 부탁 드립니다.
감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76858 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20263 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57196 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68747 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92612 |
217 | Light flower bulb | 17081 |
216 | 플라즈마를 이용한 발광시스템에 관한 연구 | 17087 |
215 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. | 17195 |
214 | Electrode 의 역할에 대해서 궁금합니다. | 17345 |
213 | 고온플라즈마와 저온플라즈마 | 17441 |
212 | RF 변화에 영향이 있는건가요? | 17510 |
211 | 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] | 17522 |
210 | 유전체 플라즈마 | 17560 |
209 | 불꽃이 쫒아오는 이유 | 17621 |
208 | 플라즈마와 자기장의 상호작용 | 17627 |
207 | Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. | 17686 |
206 | 충돌 | 17708 |
205 | RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [1] | 17723 |
204 | 플라즈마에서 전자가 에너지를 어느 부분에서.. | 17763 |
203 | 교육 기관 문의 | 17783 |
202 | 스퍼터링 후 시편표면에 전류가 흘렀던 흔적 | 17790 |
201 | capacitively/inductively coupled plasma | 17811 |
200 | 플라즈마 온도중 Tr의 의미 | 17812 |
199 | QMA에서 electron beam의 generation 과정 [1] | 17851 |
198 | 플라즈마 응용분야 | 17863 |
관련 연구는 기계 연구소의 송영훈박사 팀에서 아주 오랫동안, 매우 열심히 연구를 하고 있는 분야입니다. 따라서 기계 연구소 송영훈 박사 팀을 소개합니다. https://www.kimm.re.kr/eco04 (한국기계연구원/환경시스템연구본부/플라즈마연구실)에 방문을 추천합니다.