Diamond tip으로 insulator, semiconductor, conductor를 긁어서 깨뜨리는 경우, 3 경우 모두 플라즈마가 생기고 이 때 insulator>semiconductor>conductor 순으로 electron 의 에너지가 높은 것으로 알려져있습니다.

( insulator : several hundred to keV,  semiconductor : 0~100 eV,  conductor : negligible )

저는 Ceramic Powder (Y2O3 ~900nm) 를 아음속으로 기판에 분사시켜서 증착하는 Aerosol Deposition 중에도 플라즈마가 생기는 것을 PMT 센서로 계측하고, 이를 증착에 미치는 영향과 연관시키려고 합니다.


질문 사항은 다음과 같습니다.

1. 일반적으로, E-field를 가해서 플라즈마를 생성할 때, electron energy 가 어느 정도 쯤 되나요?

Tribo-Plasma 가 발생하면서 생겼다고 주장하는 keV의 높은 에너지의 전자도 Tribo-Plasma에 의한 것으로 생각할 수 있을까요? 아니라면 다른 어떤 요인이 있을까요?


2. 상온 대기압 하에서 수 keV의 전자가 방출된다면 이 전자는 몇 m 의 거리를 움직일 수 있을까요? 그것을 대략적으로 계산할 수 있는 식은 어떤 것이 있을까요?


3. 플라즈마가 생겼다면, light emission 을 동반할 것이기 때문에, 200~780 nm 의 광을 측정할 수 있는 PMT 센서로 계측 중입니다. PMT Sensor가 기판으로부터 약 3~4cm 정도 떨어져있는데, 특정 조건(증착 조건 : 분말이 깨지는 조건)에서 오작동을 합니다. 수 keV의 전자가 방출되었을 때 계측기에 영향을 미칠 수 있을까요? 


4. 수 um 영역에서 플라즈마가 생겼을 경우 이 때 생성되는 열에너지가 어느 정도가 될까요? 온도가 어느 정도로 증가할까요?

Ceramic 이 깨질 때 형성되는 E-field 는 약 4.4*10^5 V/cm 라고 합니다. 주변 분위기는 Air 로 유지되고 있습니다.


감사합니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102995
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24692
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61455
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73492
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105866
253 RF 주파수에 따른 차이점 [이온 및 전자 주파수 선택] [1] 1398
252 CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion] [1] file 1387
251 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1370
250 Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground] [2] 1370
249 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground] [1] file 1364
248 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching] [3] 1360
247 진학으로 고민이 있습니다. [복수전공] [2] 1341
246 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1339
245 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [CCP 방전 원리] [1] file 1335
244 Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념] [1] 1331
243 plasma 공정 중 색변화 [플라즈마 진단과 분광학] [1] 1326
242 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 1321
241 고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격] [1] file 1317
240 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 1315
239 3-body recombination 관련 문의드립니다. [Energy 보존 및 momentum 보존] [2] 1313
238 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1300
237 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb] [1] 1292
236 아래 382번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [Self bias와 capacitance] [1] 1284
235 Plasma에서 Coupled(결합)의 의미 [Power coupling과 breakdown] [1] 1283
234 고진공 만드는방법. [System material과 design] [1] 1274

Boards


XE Login