-> 실명으로 작성했다고 생각했는데 닉네임으로 되어있어서 죄송합니다.ㅜㅜ 닉네임 실명으로 수정하였습니다.

 

안녕하세요 

 

현재 원기둥 모양의 얇은 텅스텐을 강염기 KOH로 전기에칭을 진행하고 있습니다.

 

Etching이 완료된 후 SEM으로 이미지를 보면 어떤물질인지 정확히 알 수 없는 수십나노 size의 Contamination들이 표면에

 

붙어있습니다. 

 

현재 플라즈마 장비로 이런 Contamination을 제거하기 위한 방법들을 찾아보고 있는 와중에 일전에도 도움주셔서 이렇게 글을

 

남겼습니다.

 

저희가 사용하는 플라즈마 장비는 진공플라즈마가 아닌 대기압플라즈마를 사용하며, 워낙 얇은 텅스텐을 사용하다보니

 

진공플라즈마에서 피뢰침처럼 Ark 방전이 발생하여 일부로 시료의 damage가 덜한 대기압플라즈마로 Remote 방식을 쓰고 있습니다.

 

현재 대기압플라즈마로 Native oxide제거(연구중), 정전기 제거(주사용)로 사용하고 있는데 추가적으로 Contamination 제거도 진행

 

하려고 합니다.

 

이러한 상황에서 좋은 접근방법이 있을지 여쭤보고 싶습니다.

 

바쁘신 와중에 글 읽어주셔서 감사합니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [301] 78014
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20833
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57735
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69249
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93625
237 Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] 1061
236 플라즈마 코팅 [1] 1059
235 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 1052
234 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1052
233 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1048
232 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1048
231 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 1046
230 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 1042
229 고진공 만드는방법. [1] 1033
228 Collisional mean free path 문의... [1] 1031
227 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1030
226 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 1013
225 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 1007
» Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 1003
223 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 995
222 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 989
221 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 976
220 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 966
219 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 965
218 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 963

Boards


XE Login