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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63767
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99 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 527
98 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 525
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96 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 522
95 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 519
94 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 510
93 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 508
92 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [2] 498
91 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 495
90 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 495
89 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 489
88 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 488
87 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 484
86 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 482
85 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 480
84 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 472
83 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 464
82 anode sheath 질문드립니다. [1] 460
81 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 459
80 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 457
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