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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61092
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79 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 417
78 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 408
77 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 408
76 RF matcher와 particle 관계 [2] 406
75 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 404
74 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 402
73 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 397
72 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 395
71 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 392
70 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 390
69 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 388
68 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 385
67 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 382
66 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 381
65 활성이온 측정 방법 [1] 377
64 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 374
63 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 372
62 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 370
61 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 365
60 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 356

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