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242 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1102
241 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1102
240 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1094
239 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground] [1] file 1092
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237 플라즈마 코팅 [The Materials Science of Thin Films] [1] 1084
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235 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb] [1] 1076
234 Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념] [1] 1071
233 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [오존발생기] [1] 1069
232 아래 382번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [Self bias와 capacitance] [1] 1069
231 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [Remote plasma 이해] [1] 1067
230 ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성] [1] file 1059
229 3-body recombination 관련 문의드립니다. [Energy 보존 및 momentum 보존] [2] 1056
228 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [Plasma sheath, Stochastic heating] [1] 1054
227 RF tune position과 Vms의 관계가 궁금합니다. [Chamber component, Matcher] [1] 1045
226 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [I-V characteristic 방전 커브] [2] 1037
225 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [Atmostpheric pressure plasma jet] [1] 1029
224 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 1026
223 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [CCP 방전 원리] [1] file 1003
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