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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72403
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 103099
232 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23462
231 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 23064
230 대기압 플라즈마 40919
229 반도체 관련 질문입니다. 28650
228 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [Matching과 L-type] [1] 48776
227 Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. 20506
226 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [수중방전의 heating source] [1] 16330
225 H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] 19694
224 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. file 30511
223 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. 17286
222 ECR plasma 장비관련 질문입니다. [ECR과 enhanced process] [2] 35257
221 질문 있습니다. [Plasma breakdwon과 plasma particle] [1] 18507
220 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련 [Pulse plasma와 trigger-in] [1] 22873
219 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25695
218 플라즈마 진단법에 대하여 [플라즈마 진단과 Spectroscopy] [1] 20927
217 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [Enthalpy probe] [1] 20459
216 UBM 스퍼터링 장비로… [UBM과 열팽창 및 coating] [1] 21145
215 Reflrectance power가 너무 큽니다. [RF matching과 breakdown] [1] 25250
214 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24966
213 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27548

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