Others TMP에 대해 다시 질문 드립니다.
2009.09.27 23:42
저희 장비에는 TMP컨트롤러가 설치되어 있지 않습니다.
그렇기 때문에 앞서 질문드렸던 것 처럼 정지시까지 3시간 OFF time을 주고 있습니다.
문제는 이 3시간 입니다.
어떤 사유로 실험을 반복 한다든지 아니면 늦게 시작 한다 든지 ...
이럴 땐 TMP off time 3시간이 정말 길게 느껴지네요...
제가 느끼기에 TMP on또는 off 시 제트엔진 소리가 들립니다.
그리고 실험 과정에서도 챔버와 게이트밸브의 열고 닫음을 제트엔진 소리체크 합니다.
하지만 제트엔진 소리 10분 내에 사라집니다.
그럼 제트 엔진 소리가 들리지 않는다는것은 TMP가 멈추었다는 거 아닌가요???
전원을 내려도 되는 거 아닙니까??
TMP RPM이 0 에 올때까지 얼마나 걸리나요?
그것이 TMP OFF 인데...아무리 생각해도 3시간이란 시간은 너무 긴거 같아서요..
인터넷에서 저희 가 사용하는 TMP 메뉴얼 찾아보고 있는데 상당히 짜증납니다.
3시간 기다리는것도 지겨워 죽겠고...
오늘도 실험실에서 자정을 넘기며~ 글을 남깁니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [309] | 78473 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 21040 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57867 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69400 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93945 |
221 |
ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다.
![]() | 17024 |
220 | 형광등으로 부터 플라즈마의 의해 [Filament, Sputtering] | 17045 |
219 | Light flower bulb | 17093 |
218 | RF에 대하여,, [Pierson coil과 V-I probe] | 17101 |
217 | 플라즈마를 이용한 발광시스템에 관한 연구 [Plasma lamp] | 17125 |
216 |
PSM을 이용한 Radical 측정 방법 [이온화 전자 전류의 증가]
![]() | 17130 |
215 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. | 17238 |
214 | Electrode의 역할에 대해서 궁금합니다. [이차전자의 방출과 스퍼터링] | 17406 |
213 | 고온플라즈마와 저온플라즈마 [Collision과 Wall loss] | 17522 |
212 | RF 변화에 영향이 있는건가요? | 17533 |
211 | 유전체 플라즈마 | 17629 |
210 | 불꽃이 쫒아오는 이유 | 17642 |
209 | 플라즈마와 자기장의 상호작용 [Magnetic Confinement] | 17669 |
208 | 충돌 | 17761 |
207 | Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. | 17798 |
206 | 교육 기관 문의 | 17801 |
205 | 플라즈마에서 전자가 에너지를 어느 부분에서.. | 17828 |
204 | 플라즈마 온도중 Tr의 의미 | 17855 |
203 | capacitively/inductively coupled plasma [Heating mechanism과 coolant] | 17855 |
202 | 스퍼터링 후 시편표면에 전류가 흘렀던 흔적 [Capacitance와 DC ripple] | 17880 |