ICP ICP TORCH의 냉각방법
2004.06.21 15:30
질문 ::
ICP TORCH에 관하여 문의를 드립니다.
ICP TORCH를 이용 유리와 같은 물질을 가열하는 장치를 연구하고 있는데 TORCH의 구조는 COIL과 QUARTZ관으로 구성되며 QUARTZ관은 내경50mm정도입니다. GAS는 Ar을 사용하고 있는데 문제는 발생된PLASMA가 COIL내에서 발생되므로 QUARTZ관까지 녹는 현상이 발생됩니다. 코일은 3 -4 TURN으로 하였는데 코일밖에서 PLASMA를 발생시킬 수 는 없는지요? 아니면 QUARTZ관이 가열되지 않는 방법이 있는지 알고 싶습니다.
답변 ::
말씀하신 장치에 대해서는 직접 보지 않아 개념적인 답변을 드릴 수 밖에 없을 것 같습니다.
1 . 일단 안테나 coil을 냉각수로 냉각하도록 하십시오.
2. 입력 개스의 흐름을 유리관 벽에서 와류가 생겨 유리관으로 전달되는 열을 가급적 차단하도록
개스흐름을 조절하십시오.
일반적으로 이상의 방법을 사용하고 있습니다.
도움이 되었기를 바랍니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76736 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68702 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
| 189 | RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] | 869 |
| 188 | 문의 드립니다. [1] | 868 |
| 187 | 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] | 868 |
| 186 | RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] | 863 |
| 185 | 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] | 856 |
| 184 | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 854 |
| 183 | PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] | 845 |
| 182 | RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] | 844 |
| 181 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 844 |
| 180 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 839 |
| 179 | ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] | 833 |
| 178 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 824 |
| 177 | Self bias 내용 질문입니다. [1] | 821 |
| 176 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 815 |
| 175 | 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] | 812 |
| 174 | ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] | 806 |
| 173 | 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] | 805 |
| 172 | DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] | 800 |
| 171 | Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] | 800 |
| 170 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 794 |