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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [수중방전의 heating source]
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궁금합니다 [입자 속도에 따른 충돌 단면적과 mean free path]
[1] | 16342 |
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플라즈마의 어원 [Langmuir]
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궁금해서요
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CCP의 electrod 재질 혼동 [PECVD와 화학물 코팅]
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몇가지 질문있습니다
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227 |
nodule의 형성원인
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226 |
좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [전력 인가와 플라즈마 밀도]
[2] | 16966 |
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Virtual Matching [Impedance matching]
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224 |
sputter
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223 |
플라즈마 처리 [표면처리와 Plasma Chemistry]
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ICP 식각에 대하여… [Electronegative plasma]
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형광등으로 부터 플라즈마의 의해 [Filament, Sputtering]
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Light flower bulb
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RF에 대하여,, [Pierson coil과 V-I probe]
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플라즈마를 이용한 발광시스템에 관한 연구 [Plasma lamp]
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PSM을 이용한 Radical 측정 방법 [이온화 전자 전류의 증가]
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ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다.
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[re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다.
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Electrode의 역할에 대해서 궁금합니다. [이차전자의 방출과 스퍼터링]
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