Ion/Electron Temperature 고온플라즈마와 저온플라즈마
2004.06.19 16:20
플라즈마를 구분함에 있어서 저온 플라즈마와 고온 플라즈마를 구분하기 위한 절대 온도의 개념이 설정되어 있는 것은 아닙니다. 일반적으로 산업용 플라즈마의 경우 저온 플라즈마가 형성되고 핵융합과 같은 플라즈마의 경우 전자의 온도가 수 keV 가 됨으로 고온 플라즈마라 합니다. 산업용 플라즈마는 대부분 전자 온도가 10 eV 미만이며 이온의 온도는 이보다 매우 낮아 일반적으로 방안 온도와 유사하다고 생각하기도 합니다. 실측된 이온 전자온도 값도 전자 온도의 1/10 미만의 크기를 보여줍니다.
이에 반해서 핵융합로 같이 플라즈마 구속이 좋은 경우 전자의 온도와 이온의 온도가 모두 수 keV가 되니 고온이라 할수 있으며 핵융합로 자체가 고온 고밀도 플라즈마에 대한 연구가 목적임으로 플라즈마의 발생과 구속 및 가열을 통하여 플라즈마의 온도를 향상 시킴니다. 산업용 플라즈마에서는 전자의 온도 상승이 대부분의 원치 않는 처리 결과를 야기함으로 낮은 전자온도의 플라즈마를 요구하기도 합니다. 또한 효율적으로 플라즈마가 구속되지 않음으로 전자 및 이온의 온도가 낮습니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] | 103342 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 24717 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 61532 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 73521 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 105953 |
214 | Electrode의 역할에 대해서 궁금합니다. [이차전자의 방출과 스퍼터링] | 17509 |
213 | RF 변화에 영향이 있는건가요? | 17605 |
212 | 고온플라즈마와 저온플라즈마 [Collision과 Wall loss] | 17618 |
211 | 불꽃이 쫒아오는 이유 | 17712 |
210 | 유전체 플라즈마 | 17731 |
209 | 플라즈마와 자기장의 상호작용 [Magnetic Confinement] | 17787 |
208 | 교육 기관 문의 | 17843 |
207 | 충돌 | 17902 |
206 | 플라즈마에서 전자가 에너지를 어느 부분에서.. | 17905 |
205 | 플라즈마 온도중 Tr의 의미 | 17962 |
204 | capacitively/inductively coupled plasma [Heating mechanism과 coolant] | 17973 |
203 | 플라즈마 응용분야 | 17981 |
202 | Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. | 18063 |
201 | Plasma of Bio-Medical Application | 18070 |
200 | 플라즈마를 알기위해서는 어떤것을 알아두는 것이 좋.. [플라즈마 기초] | 18099 |
199 | 플라즈마의 정의 | 18130 |
198 | QMA에서 electron beam의 generation 과정 [1] | 18131 |
197 | 스퍼터링 후 시편표면에 전류가 흘렀던 흔적 [Capacitance와 DC ripple] | 18132 |
196 | electrode gap | 18154 |
195 | Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? [Splash와 TG Maker] | 18197 |