Langmuir Probe 대기압플라즈마 진단
2004.06.21 15:52
질문 ::
대기압 플라즈마에서 lanmuir probe로 분석할 수 있는지 궁금합니다.
온도가 높아서 탐침이 탄다고 하던데 해결할 수 있는지 궁금합니다.
답변 부탁드리겠습니다
답변 ::
탐침을 이용한 대기압 진단은 한마디로 말해서 매우 어렵습니다
다음과 같은 문제가 해결되어야 합니다.
1. 충돌성이 매우 높은 플라즈마의 특성이 대기압 플라즈마의 특징중에 하나입니다.
따라서 충돌성이 매우 높은 플라즈마에서의 쉬스 형성에 관한 문제의
해결 (쉬스 경계에서의 이온의 속도 정의)
2. 쉬스 안에서 이온화가 일어나는 정도에 따라서 탐침에 들어오는
전류량이 바뀌게 됩니다. 이 값에 대한 보정
3. 탐침이 입사되는 전류에 의해서 고온으로 될때 탐침에서 방출되는
열전자의 효과 보정 (많은 경우 이 값이 이온 전류로 오인되어 무리한
해석을 하고 있는 경우가 많습니다).
등등..
위의 문제들의 일부는 해결이 되고 있기도 합니다만 아직까지 이 모든
문제를 해결했다고는 보이지 않습니다. 하지만 옳지 못한 자료라 하더라도 탐침에 의한 자료 취득을 시도할 필요는 있습니다. 사용을 주저하지는 않기를 바랍니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] | 75776 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19464 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56675 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68045 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 90348 |
138 | 상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. | 19710 |
137 | 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] | 19713 |
136 | [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] | 19784 |
135 | 석영이 사용되는 이유? [1] | 19908 |
134 | 플라즈마 진동수와 전자온도 | 19914 |
133 | CCP의 Vp가 ICP의 Vp보다 높은 이유 | 19950 |
132 | 플라즈마 matching | 20099 |
131 | Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. | 20157 |
130 | DBD플라즈마와 플라즈마 impedance | 20161 |
129 | 형광등과 플라즈마 | 20198 |
128 | 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] | 20221 |
127 | 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] | 20256 |
126 |
CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마...
[1] ![]() | 20276 |
125 | Langmuir probe tip 재료 | 20350 |
124 | RIE장비 에서 WALL 과 TOP 온도 | 20366 |
123 | wafer 전하 소거: 경험 있습니다. | 20437 |
122 | 플라즈마 진단법에 대하여 [1] | 20446 |
121 | 확산펌프 | 20459 |
120 | Lissajous figure에 대하여.. | 20566 |
119 | Three body collision process | 20594 |