Etch Dry Etcher 에 대한 교재

2009.08.07 17:14

김기권 조회 수:22379 추천:272

저는 LCD Dry Etcher 내 하부에 장착되는  ESC(Plasma ceramic Coating Type) 만드는 회사에 다니고 있습니다.
전공이 재료공학 인지라 Etcher 에 대한 설비, 공정진행 여러가지 모자란 부분이 많습니다. 이 부분을 독학 공부를 하고 싶은데 도움되는 교재를 추전해 주셨으면 좋겠습니다.  

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [158] 72997
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17588
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55512
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65687
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86016
85 플라즈마 코팅에 관하여 21973
84 PEALD관련 질문 [1] 22111
83 CCP/ICP , E/H mode 22176
82 Peak RF Voltage의 의미 22277
81 Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계 [1] 22337
» Dry Etcher 에 대한 교재 [1] 22379
79 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련.. [1] 22407
78 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22447
77 [질문] Plasma density 측정 방법 [1] 22476
76 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [2] 22484
75 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) 22688
74 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22769
73 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 22787
72 고온플라즈마와 저온플라즈마 22805
71 No. of antenna coil turns for ICP 22843
70 DC glow discharge 22942
69 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23070
68 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23077
67 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. 23130
66 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23143

Boards


XE Login