Etch Dry Etcher 에 대한 교재
2009.08.07 17:14
저는 LCD Dry Etcher 내 하부에 장착되는 ESC(Plasma ceramic Coating Type) 만드는 회사에 다니고 있습니다.
전공이 재료공학 인지라 Etcher 에 대한 설비, 공정진행 여러가지 모자란 부분이 많습니다. 이 부분을 독학 공부를 하고 싶은데 도움되는 교재를 추전해 주셨으면 좋겠습니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [158] | 72997 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17588 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55512 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65687 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86016 |
85 | 플라즈마 코팅에 관하여 | 21973 |
84 | PEALD관련 질문 [1] | 22111 |
83 | CCP/ICP , E/H mode | 22176 |
82 | Peak RF Voltage의 의미 | 22277 |
81 | Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계 [1] | 22337 |
» | Dry Etcher 에 대한 교재 [1] | 22379 |
79 | pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련.. [1] | 22407 |
78 | MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] | 22447 |
77 | [질문] Plasma density 측정 방법 [1] | 22476 |
76 | floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [2] | 22484 |
75 | 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) | 22688 |
74 | 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. | 22769 |
73 | [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] | 22787 |
72 | 고온플라즈마와 저온플라즈마 | 22805 |
71 | No. of antenna coil turns for ICP | 22843 |
70 | DC glow discharge | 22942 |
69 | CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. | 23070 |
68 | 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? | 23077 |
67 | 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. | 23130 |
66 | HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 | 23143 |