번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [85] 2298
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 12780
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49613
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61088
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 78368
39 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 307
38 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 302
37 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 294
36 라디컬의 재결합 방지 [1] 292
35 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 292
34 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [2] 291
33 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 289
32 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 283
31 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 280
30 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 271
29 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 263
28 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 258
27 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 257
26 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 257
25 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 256
24 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 247
23 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 246
22 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 244
21 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 238
20 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 233
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