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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68939
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190 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24790
189 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] 18816
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186 CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [1] file 20411
185 Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계 [1] 22824
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181 상압 플라즈마 관련 문의입니다. [1] 21524
180 RF에 대하여... 32127
179 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 24221
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177 RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [1] 18883
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173 glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 21788
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