Plasma in general RF 주파수에 따른 차이점
2023.10.12 16:38
안녕하세요 인터넷에 아무리 찾아도 명확한 답을 찾을 수 없어서 가입 후 글을 남깁니다.
보통 RF 주파수라고 하면 13.56MHz 를 주로 쓰지만 공정에 따라 27.12MHz, 40.68Hz, 60MHz 도 사용하는걸로 알고 있습니다
그런데 왜 13.56MHz 의 2배수인 27.12MHz, 3배수인 40.68MHz 를 정하여 사용하는지 알고싶습니다
또 2배수, 3배수를 사용하지 않았을때의 현상도 추가적으로 궁금합니다.
기본적이고 원초적인 질문 일수 있지만 명확한 해답을 알고 싶어 글 남깁니다
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 76978 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20332 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57254 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68801 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92795 |
181 | 라디컬의 재결합 방지 [1] | 812 |
180 | Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] | 811 |
179 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 806 |
178 | RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] | 802 |
177 | Collisional mean free path 문의... [1] | 795 |
176 | 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] | 792 |
175 | 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] | 792 |
174 | OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] | 785 |
173 | Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] | 776 |
172 | 교수님 질문이 있습니다. [1] | 768 |
171 | 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] | 767 |
170 | 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] | 763 |
169 | RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] | 762 |
» | RF 주파수에 따른 차이점 [1] | 754 |
167 | Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] | 751 |
166 | O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. | 745 |
165 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 739 |
164 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 738 |
163 | ICP 후 변색 질문 | 738 |
162 | 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 737 |
좋은 질문입니다.
현재 언급하신 주파수는 산업용 RF 장치로 허용된 주파수이며, 규정은 FCC (Federal Communication Commissions: https://www.fcc.gov/)에 따릅니다.
하지만 RF 주파수 선택은 만들어진 plasma의 특성, 즉 ion plasma frequency, electron plasma frequency를 기준으로 선택하게 됩니다. 관련된 주파수는 전자 충돌 주파수, 이온충돌 주파수이며 자기장 환경에서는 ion gyrofrequency 및 electron gyrofrequency 가 주파수 선택의 기준이 됩니다.
RF 기준은 플라즈마 이온, 전자 주파수로 부터 시작하면 좋습니다. 관련 현상에 대해서 본 게시판에 설명이 되어 있으니 참고하시기 바랍니다.