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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16201
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51246
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63740
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83488
56 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 23708
55 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 23735
54 플라즈마의 정의 23927
53 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 23934
52 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24206
51 플라즈마가 불안정한대요.. 24294
50 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24301
49 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24353
48 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 24420
47 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24510
46 PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [2] 24547
45 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 25142
44 충돌단면적에 관하여 [2] 25379
43 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25398
42 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 25872
41 self bias (rf 전압 강하) 25898
40 이온과 라디칼의 농도 file 26296
39 플라즈마 온도 26623
38 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 26658
37 sheath와 debye shielding에 관하여 26813

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