Others Peak RF Voltage의 의미

2004.06.28 01:58

이석환 조회 수:22849 추천:266

질문

안녕하세요...

제가 사용중인 Matching Network 상에 RF Peak Volt가 Display되는데요.
이것의 의미가 궁금하구요, 이 Voltage와 Power와는
어떠한 관계가 있는지 궁금합니다.

감사합니다,.


답변

CCP 나 ICP의 전극이나 안테나에 인가되는 Power은
Current x Voltage 입니다. 여기서 전류나 전압값은 rms 값으로
peak 값의 1/sqrt(2) 값을 뜻하지요. 즉, peak 값은 약 70%에 해당합니다. 따라서 표시되는 전압은 CCP의 경우 power electrode에 인가되는
전압이며 ICP의 경우 안테나에 걸리는 전압의 peak 값입니다. 만일 전류가 일정하다면 전압의 크기가 커지게 되면 당연히 인가 전력이 증가하합니다.  

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102636
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24658
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61358
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73442
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105747
213 RF 변화에 영향이 있는건가요? 17602
212 고온플라즈마와 저온플라즈마 [Collision과 Wall loss] 17610
211 불꽃이 쫒아오는 이유 17707
210 유전체 플라즈마 17717
209 플라즈마와 자기장의 상호작용 [Magnetic Confinement] 17776
208 교육 기관 문의 17842
207 충돌 17890
206 플라즈마에서 전자가 에너지를 어느 부분에서.. 17902
205 플라즈마 온도중 Tr의 의미 17956
204 capacitively/inductively coupled plasma [Heating mechanism과 coolant] 17958
203 플라즈마 응용분야 17975
202 Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. 18051
201 Plasma of Bio-Medical Application 18066
200 플라즈마를 알기위해서는 어떤것을 알아두는 것이 좋.. [플라즈마 기초] 18093
199 스퍼터링 후 시편표면에 전류가 흘렀던 흔적 [Capacitance와 DC ripple] 18119
198 QMA에서 electron beam의 generation 과정 [1] 18127
197 플라즈마의 정의 18129
196 electrode gap 18149
195 Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? [Splash와 TG Maker] 18193
194 증착에 대하여... 18208

Boards


XE Login