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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2921
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 14125
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50055
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62367
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80739
40 라디컬의 재결합 방지 [1] 334
39 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 331
38 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 331
37 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 330
36 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 327
35 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 324
34 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 319
33 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 312
32 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 311
31 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 310
30 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 307
29 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 303
28 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 301
27 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 300
26 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 300
25 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 296
24 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 294
23 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [2] 290
22 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 289
21 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 276
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