Etch Dry Etcher 에 대한 교재

2009.08.07 17:14

김기권 조회 수:22542 추천:272

저는 LCD Dry Etcher 내 하부에 장착되는  ESC(Plasma ceramic Coating Type) 만드는 회사에 다니고 있습니다.
전공이 재료공학 인지라 Etcher 에 대한 설비, 공정진행 여러가지 모자란 부분이 많습니다. 이 부분을 독학 공부를 하고 싶은데 도움되는 교재를 추전해 주셨으면 좋겠습니다.  

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [270] 76746
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20216
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57169
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68706
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92304
169 라디컬의 재결합 방지 [1] 791
168 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 789
167 Collisional mean free path 문의... [1] 788
166 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 784
165 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 780
164 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 762
163 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 760
162 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 760
161 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 757
160 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 756
159 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 755
158 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 746
157 교수님 질문이 있습니다. [1] 745
156 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 737
155 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 737
154 ICP 후 변색 질문 727
153 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 726
152 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 718
151 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 717
150 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 715
쓰기
태그

Boards

XE Login