kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
2009.11.17 16:06
안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다
a) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.
b) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV
Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [179] | 74887 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18739 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56225 |
» | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66694 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88034 |
98 | 라디컬의 재결합 방지 [1] | 587 |
97 | 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 584 |
96 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 581 |
95 | Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] | 579 |
94 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 576 |
93 |
Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다.
[1] ![]() | 570 |
92 | Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] | 569 |
91 | 플라즈마 기본 사양 문의 [1] | 569 |
90 | 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] | 565 |
89 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 564 |
88 |
Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다.
[1] ![]() | 563 |
87 | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 559 |
86 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 556 |
85 | 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] | 555 |
84 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 555 |
83 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 554 |
82 | O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. | 549 |
81 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 542 |
80 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 541 |
79 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 539 |