안녕하세요. 플라즈마 장비 엔지니어입니다.

 

광학적 (OES) 플라즈마 진단을 공부하는 도중

 

PAL에서 학위를 받으신 박사님의 자료를 보게되었는데 질문사항이 생겨 글남기게 되었습니다.

 

Particle Balance Equation 이라고 해서 아래와 같은데요,

 

n1 = n0 - n1s2 - n1s3 - n1s4 - n1s5 - ne

 

n1 = Ground State Density

n0 = Total Gas Density

n1sx = Ar 4s

ne = Electron Density

 

1. 여기서 n1과 n0는 모두 이상기체방정식으로 구하는게 맞나요 ?? (n=P/kT)

 

2. 혹시 맞다면 방전이 Off일때 기체온도, On일때 기체온도의 차이로 인해 구분될 수 있는건가요 ?

   - Off일때 기체온도가 낮아서 n0 값이 큼

   - On일때 기체온도가 높아서 ng 값이 작음

 

항상 좋은정보 감사드립니다~~

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 76978
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20332
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57253
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68801
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92795
161 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 732
160 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 731
159 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 728
158 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 726
157 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 723
156 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 718
155 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 711
154 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 710
» 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 705
152 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 695
151 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 693
150 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 690
149 Polymer Temp Etch [1] 684
148 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 678
147 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 673
146 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 661
145 plasma 공정 중 색변화 [1] 656
144 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 647
143 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 645
142 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 643

Boards


XE Login