플라즈마 기본 사양 문의

2018.02.27 10:50

포포쿱 조회 수:609

안녕하세요

플라즈마 기기에 급 관심을 갖게된 대학생입니다.


기본적으로 몇가지 문의 드리고 싶은데 아시는 분들은 말씀 부탁드립니다.


1. 저온 플라즈마의 측정 단위?

빛은 에너지밀도, 파장대로 어떤 기기의 출력 스펙을 한정하듯 저온 플라즈마 스펙도 전압, 주파수, 파장, 에너지밀도 등으로

쓸 수 있는건가요?

그렇다면 어떤 측정 단위를 쓰나요? V ? W ? W/m2 ? nm ?


2. 고전압

3KV 이상의 고전압을 걸어야 플라즈마 형태로 기체를 이온화? 시킬 수 있는것으로 알고 있는데

혹시 이 고전압이 불량이 나거나 이상이 생겼을때 위험하진 않나요



3. 인체 안전성?

플라즈마를 인체에 쐬어 주었을때 나타나는 부작용? 등이 있을까요?

반응성이 크고 에너지가 큰 상태인 플라즈마가 어떤 작용을 할거같은데..



4. 플라즈마 측정 방법


플라즈마가 나오는지 측정하려면 분광기?등 어떤 장비를 사용해야 하나요?

측정해주는 기관이나 (공공기관) 실험실이 있으면 추천 부탁드립니다.

1번과 같은 질문인데  측정하면 뭘 어떻게 어떤 스펙을 측정하는지도 .....궁금합니다





감사합니다.











번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [255] 76398
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19983
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57064
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68534
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91249
133 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 671
132 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 659
131 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 658
130 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 656
129 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 653
128 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 643
127 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 642
126 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 641
125 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 641
124 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 629
123 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 620
122 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 615
» 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 609
120 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 602
119 Polymer Temp Etch [1] 602
118 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 600
117 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 596
116 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 591
115 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 588
114 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 585

Boards


XE Login