self bias에 대해서 정확히 알고 계십니다. Matching network에 직렬C 가 있음으로 M/N을 사용할 때 Blocking C는 필요없게 됩니다.
아울러 Insulator를 Electrode위에 놓은 상태라면 이 Insulator가 C 역할을 하게 됨으로 이때도 Blocking C가 없어도 self bias가 형성됩니다. 또한 대부분의 반응기에 전극들의 면적비가 상당합니다. 이유는 반응용기 자체를 접지 전극으로 생각학 수 있기 때문입니다.
이점 참고하시기 바랍니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76858 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20263 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57197 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68748 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92612 |
157 | MFC | 19334 |
156 | CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 | 19348 |
155 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19358 |
154 | AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... | 19389 |
153 | H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] | 19429 |
152 | QMA에 관하여 [1] | 19431 |
151 | Full Face Erosion 관련 질문 [2] | 19461 |
» | self bias [1] | 19479 |
149 | 플라즈마를 이용한 박막처리 | 19483 |
148 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19555 |
147 | 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 | 19640 |
146 | smsith chart 공식 유도하는 방법? | 19659 |
145 | DC SPT 문의 | 19682 |
144 | Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. | 19691 |
143 | DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 | 19714 |
142 | cross section 질문 [1] | 19720 |
141 | 대기압 상태의 플라즈마 측정 | 19731 |
140 | PM을 한번 하시죠 | 19732 |
139 | 상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. | 19766 |
138 | 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] | 19783 |