Sheath plasma and sheath, 플라즈마 크기
2004.07.02 00:28
질문 ::
sheath가 형성된 부분은 전위가 매우 낮다가 일정영역에서는
높은 전위로 일정하게 유지되는데...
그렇다면 플라즈마내에서 voltalge drop이 있다고 해야하는 건가요??
어디서 어디까지가 플라즈마 형성 영역으로 봐야하는건지
잘 모르겠습니다.
아님 그냥 밀도 차이로 보면 되는건가요??
애매해서 질문드립니다.
답변 ::
플라즈마는 준중성상태를 유지하고 집단행동을 할 정도의 많은 하전입자의 모임입니다. 플라즈마 쉬스는 플라즈마의 경계에서 생기는
플라즈마의 일부분으로 쉬스에서는 플라즈마의 본래
특성인 준 중성상태의 조건을 위배하며 이온이 많고 강한 전기장이 형성되는 영역입니다. 쉬스와 플라즈마 본체 사이에는 플라즈마 온도의 절반에 해당하는 전위차를 갖으며 이 전위차로 부터 이온이 에너지를 받아 쉬스로 입사되게 되는, 즉 이온이 가속되는 영역인 프리 쉬스 (전외장)이 형성되어 있습니다. 프리쉬스 내에서는 플라즈마의 준 중성 상태는 유지됩니다.
따라서 플라즈마 특성이 유지되는 곳으로 플라즈마
크기를 정의한다면 쉬스 영역을 제외하고 생각하는
편이 옳을 수 있습니다. 정확히 이야기 하면 프리 쉬스 (전외장)까지
이겠지요. 하지만, 플라즈마 상태가
유지되는 곳의 그 가장자리에는 늘 쉬스가 형성되어 있음으로
플라즈마와 쉬스를 분리해서 플라즈마 용적을 생각하기는 어렵습니다.
쉬스에 대해서는 여러차례 설명을 했으니 이전 설명을 참고하기 바랍니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76736 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68702 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
148 | self bias [1] | 19470 |
147 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19539 |
146 | 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 | 19640 |
145 | smsith chart 공식 유도하는 방법? | 19657 |
144 | DC SPT 문의 | 19680 |
143 | Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. | 19687 |
142 | DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 | 19712 |
141 | cross section 질문 [1] | 19712 |
140 | 대기압 상태의 플라즈마 측정 | 19728 |
139 | PM을 한번 하시죠 | 19729 |
138 | 상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. | 19764 |
137 | 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] | 19776 |
136 | [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] | 19836 |
135 | CCP의 Vp가 ICP의 Vp보다 높은 이유 | 20008 |
134 | 석영이 사용되는 이유? [1] | 20024 |
133 | 플라즈마 진동수와 전자온도 | 20043 |
132 | Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. | 20204 |
131 | DBD플라즈마와 플라즈마 impedance | 20207 |
130 | 플라즈마 matching | 20237 |