OES CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다.
2021.07.16 18:01
현재 BTO 박막을 CF4/Ar gas 를 이용하여 플라즈마 식각을 진행하고 있습니다.
OES 분석을 위해 CF3 파장이 필요한데 제가 가지고 있는 data에 없어서 이렇게 문의 드립니다.
혹시 OES 분석이나 실험 분석에 사용했던 CF3의 파장이 있으시다면 알려주실수 있으신가요?
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76868 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20273 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57199 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68751 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92693 |
157 | MFC | 19334 |
156 | CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 | 19351 |
155 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19360 |
154 | AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... | 19390 |
153 | QMA에 관하여 [1] | 19431 |
152 | H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] | 19431 |
151 | Full Face Erosion 관련 질문 [2] | 19461 |
150 | self bias [1] | 19483 |
149 | 플라즈마를 이용한 박막처리 | 19488 |
148 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19558 |
147 | 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 | 19641 |
146 | smsith chart 공식 유도하는 방법? | 19659 |
145 | DC SPT 문의 | 19682 |
144 | Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. | 19693 |
143 | DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 | 19714 |
142 | cross section 질문 [1] | 19720 |
141 | 대기압 상태의 플라즈마 측정 | 19731 |
140 | PM을 한번 하시죠 | 19732 |
139 | 상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. | 19766 |
138 | 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] | 19785 |