Deposition 질문있습니다 교수님
2020.05.06 15:46
안녕하세요. 이제 막 반도체 수업을 듣기시작한 학생입니다. 한 질문에 궁금증이 생겨 질문 남기게 되었습니다.
4인치 웨이퍼 기준 100nm 두께로 구리 등 금속 박막을 대량으로 하려면 어떻게 해야될까 인 부분이었습니다.
이때 제 생각으로는 CVD공정이 가장 적합한것이 아닌가? 라고 생각하면서도 각 공정마다 장단점이 있어 헷갈립니다.
PVD의 경우 증착속도가 느리고, ALD의 경우 낮은생산 성 등..
어떠한 공정이 가장 적합한 공정이 될 수 있는지 궁금합니다 감사합니다
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] | 78037 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20846 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57737 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69253 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93631 |
179 | Faraday shielding & Screening effect | 18382 |
178 | 질문 있습니다. [1] | 18382 |
177 | 물리적인 sputterting | 18406 |
176 | RF compensate probe | 18471 |
175 | 형광등에서 일어나는 물리적인 현상 | 18552 |
174 | 최적의 펌프는? | 18561 |
173 | 플라즈마을 막는 옷의 소재는? | 18579 |
172 | 핵융합 발전에서는 폐기물이 않나오는 .... | 18584 |
171 | surface wave plasma 에 대해서 [1] | 18591 |
170 | 주변의 플라즈마에 대하여 | 18671 |
169 | 플라즈마진단법엔 어떤것이? | 18766 |
168 | 등온플라즈마와 비등온플라즈마 | 18775 |
167 | 플라즈마의 환경이용 | 18789 |
166 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 18876 |
165 | RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [1] | 18890 |
164 | 플라즈마에 관하여... | 18975 |
163 |
AMS진단에 대하여 궁금합니다
![]() | 19062 |
162 | 기중방전에서 궁금한것이 | 19187 |
161 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19223 |
160 | scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] | 19267 |
박막 관련해서는 군산대학교 주정훈교수님께 문의드려 보세요. 속시원한 답을 구할 수 있을 것입니다.