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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73459
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193 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [플라즈마 식각기술] [1] 1080
192 플라즈마 용어 질문드립니다. [Self bias] [1] 1080
191 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [플라즈마 표면 반응] [1] 1078
190 플라즈마 충격파 질문 [플라즈마 생성에 의한 충격파 현상] [1] 1078
189 새집 증후군 없애는 플러스미- 플라즈마에 대해서 [광운대 플라즈마바이오연구센터] [1] 1077
188 remote plasma를 이용한 SiO2 ethching 질문드립니다. [식각률 self limit과 쉬스 에너지 변화] [1] 1075
187 Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지] [1] 1075
186 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다. [플라즈마 확산 시간 및 표면 반응 시간 유지] [2] 1063
185 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [충돌 거리 및 Deposition] [1] 1060
184 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [Breakdown 이해] [1] 1057
183 Hollow Cahthode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [장치 setting과 전극재료] [1] file 1054
182 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [플라즈마 응용기술] [1] 1047
181 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [반응기 내벽 변동 및 벽면 불화 정도 판단] [1] 1037
180 플라즈마 밀도와 라디칼 [플라즈마 충돌 반응] [1] 1035
179 RF magentron sputtering시 플라즈마 off 현상 [Sputter 문제] [1] 1033
178 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [Glow discharge process 이해] [1] 1023
177 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [단위 Chamber의 PM 이력] [1] 1021
176 RF 파워서플라이 매칭 문제 1018
175 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 1016
174 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다. [Corona breakdown, current density] [1] 1012
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