Others 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상
2018.08.29 17:36
안녕하세요. (코로나 방전을 이용한) 전기집진을 공부하고있는 학생입니다.
최근 실험 중, 코로나 전류가 -10uA에서 시간이 지날수록 하락하는 현상이 나타났습니다.
충분히 시간이 경과하니 -0.2uA 수준까지 하락을 하였습니다.
수초 간 전원을 OFF 후 ON 시키면 1/3수준까지는 회복이 됩니다
또는 전원을 OFF 후 방전이 일어나는 브러쉬 부분을 건드려준 후, 다시 ON을 시키면 원래 값까지 회복이됩니다.
위 현상이 나타나는 이유 또는 참고할만한 내용이 있으면 부탁드려도 될까요??
홈페이지 통하여 플라즈마 관련 많이 배우고 있습니다.
감사합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 76920 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20306 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57224 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68773 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92752 |
| 160 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 729 |
| 159 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 724 |
| 158 | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 723 |
| 157 | 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] | 721 |
| 156 | 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] | 720 |
| 155 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 714 |
| » | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 710 |
| 153 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 709 |
| 152 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 700 |
| 151 | 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] | 695 |
| 150 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 692 |
| 149 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 690 |
| 148 | Polymer Temp Etch [1] | 680 |
| 147 | [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] | 677 |
| 146 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 664 |
| 145 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 661 |
| 144 | plasma 공정 중 색변화 [1] | 650 |
| 143 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 645 |
| 142 | remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] | 637 |
| 141 |
Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다.
[1]  | 637 |