OES CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다.
2021.07.16 18:01
현재 BTO 박막을 CF4/Ar gas 를 이용하여 플라즈마 식각을 진행하고 있습니다.
OES 분석을 위해 CF3 파장이 필요한데 제가 가지고 있는 data에 없어서 이렇게 문의 드립니다.
혹시 OES 분석이나 실험 분석에 사용했던 CF3의 파장이 있으시다면 알려주실수 있으신가요?
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76751 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20217 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57170 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68707 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92316 |
150 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 709 |
149 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 708 |
» | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 707 |
147 | RF 주파수에 따른 차이점 [1] | 705 |
146 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 704 |
145 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 696 |
144 | 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] | 694 |
143 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 690 |
142 | 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] | 687 |
141 | 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] | 684 |
140 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 679 |
139 | [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] | 669 |
138 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 668 |
137 | Polymer Temp Etch [1] | 665 |
136 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 657 |
135 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 640 |
134 | Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] | 636 |
133 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 634 |
132 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 626 |
131 | 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] | 618 |
저희 홈페이지에 링크되어 있는 사이트에서 자료를 찾아 보세요. 국내에서는 핵융합 연구소 기반기술 연구부(송미영박사님)에서 자료를 제공합니다. 문의드려 보세요.