Plasma in general RF 주파수에 따른 차이점

2023.10.12 16:38

이상권 조회 수:744

안녕하세요 인터넷에 아무리 찾아도 명확한 답을 찾을 수 없어서 가입 후 글을 남깁니다.

보통 RF 주파수라고 하면 13.56MHz 를 주로 쓰지만 공정에 따라 27.12MHz, 40.68Hz, 60MHz 도 사용하는걸로 알고 있습니다

그런데 왜 13.56MHz 의 2배수인 27.12MHz, 3배수인 40.68MHz 를 정하여 사용하는지 알고싶습니다

또 2배수, 3배수를 사용하지 않았을때의 현상도 추가적으로 궁금합니다.

기본적이고 원초적인 질문 일수 있지만 명확한 해답을 알고 싶어 글 남깁니다

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 76917
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20302
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57221
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68771
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92748
160 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 729
159 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 724
158 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 722
157 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 721
156 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 720
155 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 714
154 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 710
153 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 709
152 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 700
151 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 695
150 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 692
149 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 690
148 Polymer Temp Etch [1] 680
147 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 676
146 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 664
145 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 661
144 plasma 공정 중 색변화 [1] 649
143 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 645
142 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 637
141 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 637
쓰기
태그

Boards

XE Login