안녕하십니까, 서울대학교 황농문 교수님 연구실 석사과정 김수종입니다.

제가 하고 싶은 것을 대략적으로 설명드리면, nano-size dust들의 크기를 조절에서 박막 증착의 물성을 확인하려고 하는데, 이 nano particle을 어떤 방식으로 조절할까 고민하던 중 흥미있는 논문을 읽게 되었습니다.

제가 논문을 이해한바로는, DC probe와 Current probe와 같은 간단한 장비를 이용해서, third Harmonics와 fundamental amplitude를 읽어들여서, nano particle의 nucleation, accumulation, coagulation, 세 단계를 실시간으로 잡아낼 수가 있다고 합니다.  이를 이용해서 nano particle 의 size를 조절할 수 있다는, 제가 꼭 필요한 부분에 관한 내용입니다.

사실, ICP 장비를 다루고는 있지만, 플라즈마 및 장비에 대해서 지식이 부족해서 장비 업체에 연락을 먼저 해 봤지만 잘 모르겠다고 답변을 받았고, 저희 연구실과 같이 공동 연구를 하는 쪽에도 여쭤봤지만 확답은 잘 못 받았습니다.

이미 그 논문을 쓴 해당 연구실에 관련한 궁금증에 대해서 질문을 메일로 보냈습니다.

하지만, 혹시 여기에서도 좋은 조언을 얻을 수 있을까 하는 희망을 가지고 질문 올립니다.


혹시 필요하실까봐, 제가 읽은 짧은 논문 하나와, 그 연구실에서 나온 것으로 생각된 document를 보내드립니다.

Document에서 제가 관심 있어하는 부분은 50쪽 Figure II.1과 59쪽 II.3.b Vdc and 3H probes에 관한 내용입니다.

참고할 만한 작은 조언이라도 부탁드립니다.


010-4188-1840

aprilbest@snu.ac.kr



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76402
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19992
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57066
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68541
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91339
136 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 671
135 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 660
134 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 659
133 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 659
132 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 653
131 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 646
130 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 644
129 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 643
128 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 641
» Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 629
126 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 624
125 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 618
124 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 611
123 Polymer Temp Etch [1] 607
122 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 604
121 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 603
120 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 601
119 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 592
118 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 591
117 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 586

Boards


XE Login