안녕하세요. (코로나 방전을 이용한) 전기집진을 공부하고있는 학생입니다.

최근 실험 중, 코로나 전류가 -10uA에서 시간이 지날수록 하락하는 현상이 나타났습니다.

충분히 시간이 경과하니 -0.2uA 수준까지 하락을 하였습니다.

수초 간 전원을 OFF 후 ON 시키면 1/3수준까지는 회복이 됩니다

또는 전원을 OFF 후 방전이 일어나는 브러쉬 부분을 건드려준 후, 다시 ON을 시키면 원래 값까지 회복이됩니다.

위 현상이 나타나는 이유 또는 참고할만한 내용이 있으면 부탁드려도 될까요??

홈페이지 통하여 플라즈마 관련 많이 배우고 있습니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76791
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20229
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57178
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68723
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92440
151 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 714
150 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 712
149 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 709
» 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 709
147 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 707
146 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 698
145 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 695
144 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 693
143 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 691
142 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 690
141 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 680
140 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 673
139 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 670
138 Polymer Temp Etch [1] 667
137 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 657
136 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 651
135 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 636
134 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 636
133 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 628
132 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 620

Boards


XE Login