Others QMA에 관하여

2004.06.19 16:02

관리자 조회 수:19663 추천:307

저는 지금 플라즈마 진단을 위하여 QMA를 사용하고 있습니다.
RGA mode와 Ion mode가 있는데.. 차이점을 알고 싶습니다.
제가 사용하는 system은 electron beam의 에너지를 control이 가능한데..

1. RGA mode에서 electron beam의 에너지를 0eV로 한 경우와
    Ion mode의 차이점을 알고 싶습니다.

2. Plasma를 여기시킨 상태에서 RGA mode를 사용하는 경우(위의
  질문과 연관이 되는 것 같은데.. )
  QMA의 gas input단에서 이온을 QMA내로 들어오지 못하게 하는
  기능이 있는지 알고 싶습니다. ^^

수고하싶시오.. ^^

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102675
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24671
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61378
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73451
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105771
173 형광등에서 일어나는 물리적인 현상 [Film coating과 Ion frequency] 18671
172 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [공정 용법] [1] 18686
171 주변의 플라즈마에 대하여 [Neon sign과 태양] 18742
170 surface wave plasma에 대해서 [Microwave와 electron temperature] [1] 18796
169 등온플라즈마와 비등온플라즈마 [Pressure와 temperature] 18832
168 플라즈마진단법엔 어떤것이? [접촉/비접촉식 진단법] 18834
167 플라즈마의 환경이용 18848
166 플라즈마에 관하여 [플라즈마 기초] 19054
165 AMS진단에 대하여 궁금합니다 file 19118
164 RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [RF 방전과 이온 에너지] [1] 19162
163 기중방전에서 궁금한것이 19281
162 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [전자 가열 매커니즘과 이온 에너지] [1] 19330
161 MFC [Direct liquid injection] 19413
160 질문이 몇가지 있읍니다. [Lorentz force와 Magnetic cusp] [1] 19415
159 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19452
158 CCP/ICP에서 자석의 역할에 대하여 [ICP와 자기장의 역할] 19469
157 scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [RF matching 및 반응 단면적] [2] 19475
156 AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상… [Plasma Current와 dielectricity] 19578
155 [Q]플라즈마 생성위한 자유전자라는게 뭐죠? [Breakdown, cosmic ray] 19609
154 Full Face Erosion 관련 질문 [2] 19638

Boards


XE Login