안녕하세요. 플라즈마응용연구실 관라자입니다.

 

금일부터 QnA 글을 작성하기 위해 등업제도를 일부 이용합니다.

 

해당 공지 게시글에 가입 인사를 적어주시면 QnA 글을 쓸 수 있는 권한을 받게 됩니다.

(*별도의 권한 처리 없이 댓글 등록시 바로 QnA 작성이 가능해집니다.)

 

글 작성 전에 반드시 댓글을 남겨주시고 QnA 글을 작성해주시기 바랍니다.

 

감사합니다.

 

** 기존에 글을 작성하셨던 분들도 권한 처리가 필요하므로 간단하게라도 댓글 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
» [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 76928
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20307
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57225
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68774
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92754
140 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 634
139 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 633
138 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 632
137 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 628
136 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 627
135 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 622
134 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 620
133 RF Sputtering Target Issue [2] file 619
132 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 617
131 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 615
130 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 613
129 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 610
128 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 603
127 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 602
126 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 600
125 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 600
124 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 600
123 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 594
122 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 590
121 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 590

Boards


XE Login