ICP 플라즈마가 불안정한대요..
2004.06.25 16:43
질문 ::
planar ICP를 만들면서 (아직 완성 못 했슴) 조그만 helical coil ICP(유리관 주위로 코일 감음)를 만들어 플라즈마를 생성시켜 봤습니다. 그런데 플라즈마가 안정하지가 않고 세졌다 약해졌다 (reflected power가 거의 0%에서 대충 80~90% 가까이까지 왔다갔다 합니다.)를 반복합니다. 제가 체크해볼 수 있는 사항에는 어떤 것들이 있을까요?
그럼 다시 감사드리며.. 새해 복 많이 받으십시요.
답변 ::
압력과 전력을 낮추고 플라즈마를 좀 더 오랜시간을 켜 놓으세요.
플라즈마도 새로운 환경에 적응하려면 시간이 걸립니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76739 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20211 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68703 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92294 |
129 | ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] | 617 |
128 | 플라즈마 기본 사양 문의 [1] | 615 |
127 | 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] | 609 |
126 | 기판표면 번개모양 불량발생 [1] | 609 |
125 | plasma 공정 중 색변화 [1] | 606 |
124 | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] | 605 |
123 | 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] | 604 |
122 | N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] | 603 |
121 | RF Sputtering Target Issue [2] | 598 |
120 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 596 |
119 | 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] | 594 |
118 | Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] | 594 |
117 | 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] | 589 |
116 | OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] | 589 |
115 | 간단한 질문 몇개드립니다. [1] | 587 |
114 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 585 |
113 | Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] | 580 |
112 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 576 |
111 | CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] | 576 |
110 | 활성이온 측정 방법 [1] | 572 |