안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76636
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20143
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57145
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68666
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92112
127 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 611
126 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 606
125 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 606
124 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 603
123 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 601
122 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 600
121 plasma 공정 중 색변화 [1] 597
120 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 596
119 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 593
118 RF Sputtering Target Issue [2] file 592
117 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 591
116 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 589
115 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 588
114 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 587
113 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 583
112 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 579
111 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 574
110 활성이온 측정 방법 [1] 572
109 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 570
108 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 570

Boards


XE Login