안녕하십니까.. 현재 반도체업계 종사중이며 Plasma 관련 일을 하고 있습니다. 

다름이 아니오라 궁금한 점이 있어 이렇게 글을 올립니다.

Plasma에 의한 Gas 분해 및 치환 시 하기와 같은 예로


Zr[N(CH3)(C2H5)]4 ---->Zr + N + C + H    (O2 Add)

-- Zr + O2 --->ZrO2

-- C + O2 -->CO2

-- N + N --> N2

-- 4H + O2 -->2H2O

반응하여 생성된다고 가정하였을 때


반도체 공정중에서 Plasma를 발생시켜 Source Gas 및 Add Gas를 반응시켰을 시

1. 생성되는 Powder 종류

2. 생성되는 Gas 종류

3. 항목 1~2에서 우선순위로 생성되는 Gas 및 Powder 종류


위 내용에 관련하여 조언 및 교육을 받고자 하오니 답변 부탁드리겠습니다.


이상입니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76431
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19995
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57067
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68543
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91342
117 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 581
116 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 578
115 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 577
114 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 575
113 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 573
112 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 573
111 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 572
110 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 570
109 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 568
108 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 567
107 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 566
106 활성이온 측정 방법 [1] 566
105 핵융합 질문 [1] 558
104 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 550
103 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 549
102 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 549
101 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 548
100 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 548
99 plasma 공정 중 색변화 [1] 544
98 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 543

Boards


XE Login