Skip to content
플홈
오시는 길
누구
질문방
검색
전체
Plasma in general
DC glow discharge
Collision
Sheath
Ion/Electron Temperature
Others
Plasma Source
ATM Plasma
CCP
ICP
Remote Plasma
Water Discharge Plasma
Others
Chamber component
Matcher
ESC
Pulse operation
Shower head
Chamber Impedance
Others
Monitoring Method
OES
Langmuir Probe
VI(Impedance) Sensor
B dot
Others
Process
Etch
Deposition
Sputtering
Ashing
Others
ESC
esc란?
2004.06.25 12:42
관리자
조회 수:28289
추천:302
질문 ::
ELECTROSTATIC CHUCK에 대해 알고 싶은데,자료를 보내주시면 감사하겠읍니다
댓글
0
목록
번호
제목
조회 수
공지
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[332]
102859
공지
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
24688
공지
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
61414
공지
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
73479
공지
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
105832
173
형광등에서 일어나는 물리적인 현상 [Film coating과 Ion frequency]
18671
172
안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [공정 용법]
[1]
18695
171
주변의 플라즈마에 대하여 [Neon sign과 태양]
18745
170
surface wave plasma에 대해서 [Microwave와 electron temperature]
[1]
18799
169
등온플라즈마와 비등온플라즈마 [Pressure와 temperature]
18835
168
플라즈마진단법엔 어떤것이? [접촉/비접촉식 진단법]
18837
167
플라즈마의 환경이용
18848
166
플라즈마에 관하여 [플라즈마 기초]
19058
165
AMS진단에 대하여 궁금합니다
19118
164
RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [RF 방전과 이온 에너지]
[1]
19162
163
기중방전에서 궁금한것이
19283
162
전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [전자 가열 매커니즘과 이온 에너지]
[1]
19336
161
MFC [Direct liquid injection]
19414
160
질문이 몇가지 있읍니다. [Lorentz force와 Magnetic cusp]
[1]
19415
159
터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요!
19452
158
CCP/ICP에서 자석의 역할에 대하여 [ICP와 자기장의 역할]
19471
157
scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [RF matching 및 반응 단면적]
[2]
19476
156
AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상… [Plasma Current와 dielectricity]
19580
155
[Q]플라즈마 생성위한 자유전자라는게 뭐죠? [Breakdown, cosmic ray]
19612
154
Full Face Erosion 관련 질문
[2]
19638
Boards
Close Login Layer
XE Login
아이디
비밀번호
로그인 유지
회원가입
ID/PW 찾기
인증메일 재발송
Close Login Layer