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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [262] 76503
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20046
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57103
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68585
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91564
122 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 593
121 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 593
120 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 592
119 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 586
118 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 585
117 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 584
116 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 584
115 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 584
114 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 577
113 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 573
112 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 572
111 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 570
110 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 568
109 활성이온 측정 방법 [1] 568
108 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 567
107 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 562
106 핵융합 질문 [1] 560
105 plasma 공정 중 색변화 [1] 558
104 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 554
103 RF Sputtering Target Issue [2] file 551

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