kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수

2009.11.17 16:06

김곤호 조회 수:69253 추천:217



안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] 78037
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20847
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57737
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93632
159 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 705
158 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 691
157 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 689
156 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 689
155 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 687
154 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 683
153 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 680
152 RF Sputtering Target Issue [2] file 677
151 PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어] [1] 673
150 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 669
149 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 667
148 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 665
147 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 660
146 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 656
145 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 652
144 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 651
143 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 633
142 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 633
141 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 631
140 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 629
쓰기
태그

Boards

XE Login