플라즈마 기본 사양 문의

2018.02.27 10:50

포포쿱 조회 수:620

안녕하세요

플라즈마 기기에 급 관심을 갖게된 대학생입니다.


기본적으로 몇가지 문의 드리고 싶은데 아시는 분들은 말씀 부탁드립니다.


1. 저온 플라즈마의 측정 단위?

빛은 에너지밀도, 파장대로 어떤 기기의 출력 스펙을 한정하듯 저온 플라즈마 스펙도 전압, 주파수, 파장, 에너지밀도 등으로

쓸 수 있는건가요?

그렇다면 어떤 측정 단위를 쓰나요? V ? W ? W/m2 ? nm ?


2. 고전압

3KV 이상의 고전압을 걸어야 플라즈마 형태로 기체를 이온화? 시킬 수 있는것으로 알고 있는데

혹시 이 고전압이 불량이 나거나 이상이 생겼을때 위험하진 않나요



3. 인체 안전성?

플라즈마를 인체에 쐬어 주었을때 나타나는 부작용? 등이 있을까요?

반응성이 크고 에너지가 큰 상태인 플라즈마가 어떤 작용을 할거같은데..



4. 플라즈마 측정 방법


플라즈마가 나오는지 측정하려면 분광기?등 어떤 장비를 사용해야 하나요?

측정해주는 기관이나 (공공기관) 실험실이 있으면 추천 부탁드립니다.

1번과 같은 질문인데  측정하면 뭘 어떻게 어떤 스펙을 측정하는지도 .....궁금합니다





감사합니다.











번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [284] 77280
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20485
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57401
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68927
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92984
148 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 661
147 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 653
146 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 648
145 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 642
144 RF Sputtering Target Issue [2] file 642
143 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 642
142 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 641
141 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 635
140 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 632
139 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 632
138 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 632
137 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 632
136 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 620
» 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 620
134 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 617
133 PECVD Uniformity [1] 614
132 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 614
131 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 607
130 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 606
129 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 606

Boards


XE Login