ICP ICP 플라즈마에 관해서

2004.06.19 15:58

관리자 조회 수:32613 추천:276

안녕하세요.

늘 이곳에 와서 질문-응답의 열띤 글들과 학회 방문기를 잘 읽었는데 모두 없어졌다니 너무 가슴이 아프네요.
예전에 있었던 내용인 것 같은데 최근 실험을 하다가 부딪히게 되어 질문을 드립니다. 그때 미리 보았으면 좋았을 텐데.

ICP 플라즈마를 발생시킴에 있어서 CCP mode 와 ICP mode 의 차이가 어떻게 다른 것인지요? CCP mode를 마치 흔히 사용하듯이 기판(평판 기판)에 바이어스를 걸어줄때 발생하는 플라즈마처럼 생각하면 되는지요?
그리고 또하나 Matching box 에서 capacitance 를 접지시킬때와 그렇지 않은 경우 어떻게 차이가 나는지요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103278
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24710
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61516
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73516
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105936
154 Full Face Erosion 관련 질문 [2] 19639
153 QMA에 관하여 [1] 19674
152 플라즈마를 이용한 박막처리 19696
151 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 [코로나 방전, 먼지 집진] 19733
150 H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] 19738
149 smsith chart 공식 유도하는 방법? 19780
148 DC SPT 문의 [절연체의 전위] 19780
147 PM을 한번 하시죠 19802
146 DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 [플라즈마 부유 전위] 19805
145 self bias [Capacitor와 mobility] [1] 19808
144 Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. [RF ground와 Cl Plasma] 19816
143 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요 [플라즈마의 온도와 밀도] 19823
142 대기압 상태의 플라즈마 측정 19842
141 [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19888
140 상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. [상압 플라즈마, Remote Plasma] 19918
139 [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [Plasma 대면재료와 공정법] [1] 20043
138 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] 20049
137 cross section 질문 [Cross section에서의 collision] [1] 20068
136 CCP의 Vp가 ICP의 Vp보다 높은 이유 20150
135 플라즈마 진동수와 전자온도 20285

Boards


XE Login