Others QMA에서 electron beam의 generation 과정

2004.06.19 16:04

관리자 조회 수:18127 추천:227

1. QMA에서 electron beam을 generation하는 과정을 알고 싶습니다.
2. Ion source근방에서 Lens를 상용하는 것으로 알고 있는데..
  이온 빔을 평행한 빔으로 만드는 과정인지를 알고 싶습니다.
3. Energy Filter의 종류와 원리를 알고 싶습니다.

너무 질문이 추상적인 것 같아서 ... ^^
죄송합니다. 아직 모르는 것이 많아서.......

ps. 혹시라도 QMA를 통하여 얻어지는 signal에 대한 NIST표준을
      찾을 수 있는 site및 자료를 갖고 계신다면... 좀 얻을 수 있었으면
      좋겠습니다.  어떻게 좀.... 알수있는 방법이 없을까요...
      이에 대한 참고 문헌을 소개해 주셔도 ....
      정말 감사드리겠습니다. ^^

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 103059
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24695
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61468
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73496
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105884
153 이온주입량에 대한 문의 20907
152 Peak RF Voltage의 의미 22856
151 electrode gap 18153
150 RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 [해리와 세정 활성종] 97718
149 실생활에서 사용되는 플라즈마 18431
148 플라즈마의 어원 [Langmuir] 16460
147 확산펌프 [DP 변수 검토] 20660
146 플라즈마에 관하여 [플라즈마 기초] 19060
145 핵융합 발전에서 폐기물이 않나오는…. [처리와 재활용] 18673
144 플라즈마을 막는 옷의 소재는? [옷의 소재 표면 처리] 18638
143 스퍼터링시 시편 두께와 박막두께 [박막의 하전량 변화] [1] 22037
142 Plasma source type [CCP, ICP, TCP] 80435
141 플라즈마를 이용한 발광시스템에 관한 연구 [Plasma lamp] 17195
140 CCP의 electrod 재질 혼동 [PECVD와 화학물 코팅] 16654
139 PECVD에서 플라즈마 demage가 발생 조건 [쉬스와 플라즈마 밀도에 의한 damage] 30123
138 플라즈마 코팅 관하여 [PECVD와 화학물 코팅] 22218
137 wafer 전하 소거: 경험 있습니다. 20604
136 플라즈마가 불안정한대요.. [압력과 전력 조절] 24661
135 플라즈마 온도 질문+충돌 단면적 [전자의 에너지에 따른 충돌반응] 22142
134 DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 [플라즈마 부유 전위] 19802

Boards


XE Login