Ion/Electron Temperature 등온플라즈마와 비등온플라즈마
2004.06.21 15:29
질문 ::
비등온플라즈마는 전자의 온도만이 다르다는 것을 알고 있는데, 더 자세하게 두가지를 어떻게 구분할 수 있을까요? 둘의 차이점과 그 종류와 특징에 대해서 알고 싶습니다.
답변 ::
일반적으로 산업용으로 사용되고 있는 플라즈마의 특징은 전자의 온도가 이온의 온도에 비해서 매우 높다는 것입니다.
하지만 plasma torch와 같은 대기압 플라즈마에서는 이온의 온도와 전자의 온도가 유사하게 되는 경향을 보이기도
합니다. 이 둘의 차이는 충돌성이 얼마나 큰가에 따르게 됩니다. 자연 충돌성이 약한 낮은 압력에서 형성된 플라즈마에서는
전자의 질량이 이온의 질량보다 매우 작아 쉽게 전기장으로 부터 에너지를 얻을 수 있어 전자의 온도는 이온과 중성 입자의
온도에 비하여 매우 높습니다. (여기서 이온의 온도는 대략 중성 입자의 온도와 유사하다고 생각할 수 있습니다. ) 하지만
운전 압력의 증가에 따라서 중성 개스와 전자/이온의 충돌은 매우 빈번해지면서 전자의 온도는 상대적으로 낮아지고 이온과
중성개스의 온도는 올라가게 됩니다. 이런 경우에는 전체 입자의 온도가 거의 유사한 크기를 갖게 될 수 있습니다.
여기서 입자의 온도를 직접 측정하기는 쉽지 않습니다. 특히 이온의 온도는 측정이 어려워 많은 노력이 필요합니다. 통상적으로
우리가 측정하기 쉬운 대상은 전자이며 전자의 온도를 이용하여 종종 플라즈마의 특성을 관찰하곤 합니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] | 78037 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20846 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57737 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69253 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93631 |
139 | PECVD에서 플라즈마 damage가 발생 조건 | 29846 |
138 | 플라즈마 코팅에 관하여 | 22128 |
137 | wafer 전하 소거: 경험 있습니다. | 20505 |
136 | 플라즈마가 불안정한대요.. | 24553 |
135 | 플라즈마 온도 질문 + 충돌 단면적 | 22033 |
134 | DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 | 19737 |
133 | DC SPT 문의 | 19697 |
132 | ICP에 대하여 | 18229 |
131 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. | 145970 |
130 | Electrode 의 역할에 대해서 궁금합니다. | 17386 |
129 | 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. | 12390 |
128 | 반응기의 면적에 대한 질문 | 12827 |
127 | k star | 15962 |
126 | 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. | 23532 |
125 | 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. | 13226 |
124 | 저온 플라즈마에 관한 질문 | 18212 |
123 | 핵융합에 대하여 | 8572 |
122 | 기중방전에서 궁금한것이 | 19187 |
121 | sheath와 debye shielding에 관하여 | 28014 |
120 | 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요?? | 19283 |