Plasma Source Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문)
2019.06.26 10:25
안녕하십니까.. 현재 반도체업계 종사중이며 Plasma 관련 일을 하고 있습니다.
다름이 아니오라 궁금한 점이 있어 이렇게 글을 올립니다.
Plasma에 의한 Gas 분해 및 치환 시 하기와 같은 예로
Zr[N(CH3)(C2H5)]4 ---->Zr + N + C + H (O2 Add)
-- Zr + O2 --->ZrO2
-- C + O2 -->CO2
-- N + N --> N2
-- 4H + O2 -->2H2O
반응하여 생성된다고 가정하였을 때
반도체 공정중에서 Plasma를 발생시켜 Source Gas 및 Add Gas를 반응시켰을 시
1. 생성되는 Powder 종류
2. 생성되는 Gas 종류
3. 항목 1~2에서 우선순위로 생성되는 Gas 및 Powder 종류
위 내용에 관련하여 조언 및 교육을 받고자 하오니 답변 부탁드리겠습니다.
이상입니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] | 78037 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20846 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57737 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69253 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93631 |
139 | Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] | 626 |
138 |
연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준
[1] ![]() | 626 |
137 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 625 |
136 |
수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다
[2] ![]() | 622 |
135 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 616 |
134 | 간단한 질문 몇개드립니다. [1] | 610 |
133 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 600 |
132 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 597 |
131 | 활성이온 측정 방법 [1] | 597 |
130 | Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] | 594 |
129 | 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] | 593 |
128 | 핵융합 질문 [1] | 592 |
127 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 586 |
126 | 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] | 584 |
125 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 574 |
124 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 572 |
123 | self bias [1] | 571 |
122 |
안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다.
[1] ![]() | 566 |
121 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 549 |
120 | AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 | 547 |
powder 문제는 성균관대학교 기계공학과 김태성교수님 혹은 교통대학교 김성룡 교수님께 문의드려 보시면 도움을 받을 수 있을 것 같습니다.