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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68521
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91 펄스바이어스 스퍼터링 답변 21914
90 플라즈마 온도 질문 + 충돌 단면적 21977
89 플라즈마의 발생과 ICP 22073
88 플라즈마 코팅에 관하여 22073
87 Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] 22205
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82 [질문] Plasma density 측정 방법 [1] 22664
81 Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계 [1] 22707
80 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [2] 22825
79 CCP/ICP , E/H mode 22842
78 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22919
77 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) 23003
76 No. of antenna coil turns for ICP 23049
75 고온플라즈마와 저온플라즈마 23079
74 DC glow discharge 23189
73 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23232
72 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23304

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