번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69400
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93945
141 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [Self bias와 RIE] [1] 642
140 Co-relation between RF Forward Power and Vpp [RF ground] [1] 641
139 프리쉬스에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion 및 collisionless sheath] [1] 639
138 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [플라즈마 밀도 및 전위 제어] [1] 638
137 수중속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다. [방전 특성과 절연 파괴] [2] file 636
136 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 635
135 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [전자 가열 방법 및 생산성에 따른 구별] [1] 632
134 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [Sheath impedance] [1] 631
133 간단한 질문 몇개드립니다. [공정 drift와 database] [1] 631
132 Frequency에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [전자와 이온의 열운동 특성과 반응 거리] [1] 615
131 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [열플라즈마와 "플라즈마 금속학"] [1] 615
130 활성이온 측정 방법 [한국 기계 연구소 송영훈 박사팀] [1] 609
129 핵융합 질문 [NFRI 국가핵융합 연구소] [1] 609
128 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 600
127 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [핵융합 연구소] [1] 598
126 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 597
125 전쉬스에 대한 간단한 질문 [Debye length 및 sheath 형성] [1] 595
124 self bias [쉬스와 표면 전위] [1] 589
123 Bias인가 Cable 위치 관련 문의 [플라즈마 분포 관찰] [1] 585
122 안녕하세요 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [E x B drift] [1] file 581

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