번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73072
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17638
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55521
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65720
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86085
27 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 302
26 Polymer Temp Etch [1] 296
25 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 292
24 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 291
23 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 287
22 RF Sputtering Target Issue [2] file 283
21 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 275
20 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 272
19 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 268
18 plasma striation 관련 문의 [1] file 266
17 ESC DC 전극 Damping 저항 252
16 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 247
15 plasma modeling 관련 질문 [1] 237
14 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 221
13 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 210
12 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 209
11 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 181
10 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 134
9 self bias [1] 122
8 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 120
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