안녕하세요 PECVD설비 다루는 현직 엔지니어 입니다.

 

Setup중 RPS를 쓰지 않아 RF Generator에서 3.5kW를 공급하는데 Shunt box 볼테이지와 주파수 및 클린 레시피도 바꾸어 봤는데 matcher 내부에 아킹이 발생하네요.

 

근데 이상한 점이 Process Run 중일 때는 Clean 에러가 뜨지만 제네레이터 초기화 후 메뉴얼로 RF Clean하면 잘 되는데 아킹 발생 이유를 알 수 있을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77027
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20352
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57274
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68819
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92819
121 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 591
120 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 590
119 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 589
118 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 576
117 활성이온 측정 방법 [1] 575
116 핵융합 질문 [1] 574
115 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 570
114 PECVD Uniformity [1] 561
113 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 559
112 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 558
111 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 554
110 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 553
109 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 550
108 self bias [1] 548
107 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 531
106 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 522
105 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 521
104 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 519
103 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 518
102 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 505

Boards


XE Login