ICP ICP TORCH의 냉각방법
2004.06.21 15:30
질문 ::
ICP TORCH에 관하여 문의를 드립니다.
ICP TORCH를 이용 유리와 같은 물질을 가열하는 장치를 연구하고 있는데 TORCH의 구조는 COIL과 QUARTZ관으로 구성되며 QUARTZ관은 내경50mm정도입니다. GAS는 Ar을 사용하고 있는데 문제는 발생된PLASMA가 COIL내에서 발생되므로 QUARTZ관까지 녹는 현상이 발생됩니다. 코일은 3 -4 TURN으로 하였는데 코일밖에서 PLASMA를 발생시킬 수 는 없는지요? 아니면 QUARTZ관이 가열되지 않는 방법이 있는지 알고 싶습니다.
답변 ::
말씀하신 장치에 대해서는 직접 보지 않아 개념적인 답변을 드릴 수 밖에 없을 것 같습니다.
1 . 일단 안테나 coil을 냉각수로 냉각하도록 하십시오.
2. 입력 개스의 흐름을 유리관 벽에서 와류가 생겨 유리관으로 전달되는 열을 가급적 차단하도록
개스흐름을 조절하십시오.
일반적으로 이상의 방법을 사용하고 있습니다.
도움이 되었기를 바랍니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] | 76828 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20251 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57192 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68743 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92581 |
| 96 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 486 |
| 95 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 485 |
| 94 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 485 |
| 93 |
plasma striation 관련 문의
[1]  | 483 |
| 92 | AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 | 482 |
| 91 | 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] | 478 |
| 90 | Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] | 473 |
| 89 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 472 |
| 88 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 469 |
| 87 | Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. | 469 |
| 86 | Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] | 456 |
| 85 | 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] | 452 |
| 84 | 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] | 451 |
| 83 | KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] | 450 |
| 82 | glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] | 448 |
| 81 | 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] | 446 |
| 80 | ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] | 445 |
| 79 | 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] | 438 |
| 78 | H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] | 435 |
| 77 | VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] | 428 |